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高精密激光位移计 型号 测量范围 （mm） 重复精度 (um) 线性度 （%F.S） 量程 （mm） LDS-S-10 25-35 ±2 0.1 10 LDS-S-20 40-60 ±4 0.1 20 LDS-S-50 60-110 ±10 0.1 50 LDS-S-100 75-175 ±20 0.1 100 LDS-S-200 90-290 ±40 0.1 200